指数表现 - 截至2025年9月8日13点40分，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨1.10% [1] - 成分股天岳先进上涨6.92%，中微公司上涨4.72%，芯源微上涨2.66% [1] - 耐科装备和盛美上海等个股跟涨 [1] ETF资金流动 - 科创半导体ETF（588170）上涨0.77%，最新报价1.18元 [1] - 近6天连续获得资金净流入，合计净流入1.14亿元 [1] - 最高单日净流入4155.78万元，日均净流入1900.34万元 [1] 行业构成与属性 - 科创半导体ETF跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，覆盖半导体设备（59%）和半导体材料（25%）领域 [1] - 半导体设备和材料行业国产化率较低，国产替代天花板较高 [1] - 行业受益于人工智能驱动的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮及光刻机技术进展 [1]