指数表现 - 上证科创板半导体材料设备主题指数上涨2.22% [1] - 成分股天岳先进涨停 和林微纳上涨4.30% 耐科装备上涨3.94% [1] - 科创半导体ETF（588170）上涨2.30% 最新价报1.16元 [1] 技术突破 - 杭州慕德微纳在《eLight》期刊发布第二代碳化硅光波导技术突破成果 [1] 产品结构 - 科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 [1] - 指数覆盖半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域 [1] 行业属性 - 半导体设备和材料行业国产化率较低 国产替代天花板较高 [1] - 行业受益于人工智能驱动的半导体需求扩张 [1] - 科技重组并购浪潮及光刻机技术进展推动行业发展 [1]