指数表现与成分股 - 上证科创板半导体材料设备主题指数截至14:41上涨0.05% [1] - 成分股先锋精科上涨3.30%、芯源微上涨2.94%、京仪装备上涨2.33%、盛美上海上涨2.01%、中船特气上涨1.26% [1] - 科创半导体ETF（588170）下跌0.25% 最新报价1.21元 [1] 资金流向 - 科创半导体ETF近3天连续资金净流入 合计净流入8091.39万元 [1] - 单日最高净流入4155.78万元 日均净流入2697.13万元 [1] 行业动态 - 半导体设备企业新凯来将参加2025年9月4日-6日第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC） [1] - 展会主题为"做强中国芯 拥抱芯世界" 系中国半导体设备与核心部件及材料领域最具知名度年度展会 [1] ETF产品结构 - 科创半导体ETF（588170）及其联接基金跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 [2] - 指数覆盖科创板半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域硬科技公司 [2] - 半导体材料ETF（562590）指数中半导体设备占比59% 半导体材料占比24% [2] 行业特性 - 半导体设备与材料行业属于重要国产替代领域 具备国产化率较低、替代天花板较高属性 [2] - 行业受益于人工智能革命驱动的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮及光刻机技术进展 [2]