国内首台先进封装用晶圆修边设备在汉交付
长江日报·2025-08-29 00:46
8月25日,位于东西湖区柏泉街道的武汉芯丰精密科技有限公司(以下简称芯丰精密)无尘车间内,数台通体白色、约两米 高、状如集装箱的设备正在运行。这是该公司最新研发的国内首台先进封装用全自动晶圆修边设备UNI-D310T,上个月已顺利交付 国内某半导体制造企业并完成装机调试,填补了国内先进封装行业的空白。 透过设备上的观察窗,长江日报记者看到机械臂将一片12英寸晶圆送入内部。随后,晶圆依次经历对中、切割、清洗、甩干4 个自动化步骤,约几分钟后,处理完成的晶圆从另一侧送出,如同影碟机传输碟片一样。整个流程无人值守,连续进行。 众所周知,芯片是现代电子设备的"大脑",从智能手机、电脑到医疗设备、航天器,几乎所有高科技产品都离不开芯片,芯片 是晶圆上加工制作出来的微电子器件。可以说,晶圆是制造芯片的基础,封装工艺影响着芯片的性能。 "我们的设备可以全面兼容先进封装及传统封装工艺需求,并可以提供多种定制化方案,适应不同客户的特殊应用场景。"芯丰 精密总经理万先进说。据介绍,UNI-D310T设备将晶圆修边与划片两道关键工艺集成于同一机台,可兼容8英寸和12英寸晶圆,支 持环切、半切和全切多种加工模式。该设备的成功应用,改 ...