指数表现 - 上证科创板半导体材料设备主题指数8月18日收盘上涨2.43% [1] - 成分股艾森股份上涨12.53%、华海诚科上涨8.45%、天岳先进上涨6.96% [1] - 晶升股份与芯源微等个股跟涨 [1] ETF动态 - 科创半导体ETF（588170）盘中上涨2.83% 最新价报1.13元 [1] - 该ETF尾盘溢价幅度达47bp 显示资金活跃流入 [1] - 跟踪标的为上证科创板半导体材料设备主题指数 覆盖半导体设备（59%）与材料（25%）领域 [1] 技术突破 - 国产首台商业电子束光刻机"羲之"进入应用测试阶段 精度比肩国际主流设备 [1] - 该设备由浙江大学成果转化基地孵化 服务于量子芯片研发领域 [1] 行业特征 - 半导体设备与材料行业国产化率较低 替代天花板较高 [1] - 行业受益于人工智能驱动的半导体需求扩张及科技重组并购浪潮 [1] - 光刻机技术进展成为近期市场关注焦点 [1]