行业整体表现 - 2024年前道设备行业上市公司总收入650.73亿元 同比增长37.05% 毛利率40.52% 研发占比14.95% [1] - 2024年全球集成电路装备销售额达1161亿美元创历史新高 中国大陆销售额491亿美元位居全球首位 [2] - 先进封装市场规模将从2023年378亿美元增至2029年695亿美元 年复合增长率显著 [2][3] 技术发展驱动因素 - AI/高性能计算/5G/6G技术推动算力密度需求 数据中心/自动驾驶领域要求低功耗高可靠性封装 [3] - 先进封装向多元化发展：2.5D/3D封装成为AI芯片核心方案 SiP在可穿戴/AR/VR领域占优 FOPLP满足5G与消费电子需求 混合键合技术推动高密度集成 [3] - 3nm/2nm先进制程扩产推动晶圆制造设备市场2027年预计突破1200亿美元 年复合增长率4.2% [3] 细分设备市场增长 - 刻蚀设备市场从2022年230亿美元增至2027年350亿美元 CAGR 8.7% Lam Research导体刻蚀设备收入2025年较2022年增长60% [4] - 薄膜沉积设备从2022年195亿美元增至2027年290亿美元 CAGR 8.3% ALD设备占比从25%升至35% [4] - 过程控制与检测设备从2022年78亿美元增至2027年130亿美元 CAGR 10.8% KLA晶圆缺陷检测市占率超50% [4] - 清洗设备从2022年65亿美元增至2027年95亿美元 CAGR 7.9% 单片清洗设备份额从45%升至60% [4] - CMP设备从2022年42亿美元增至2027年68亿美元 CAGR 10.1% Applied Materials占据超70%份额 [5] - 离子注入设备从2022年22亿美元增至2027年30亿美元 CAGR 6.4% 低能离子注入机需求加速渗透 [5] - 封装设备从2022年78亿美元增至2027年150亿美元 CAGR 14% 先进封装设备占比从30%升至55% [5] - 测试设备从2022年85亿美元增至2027年130亿美元 CAGR 8.8% AI芯片测试时间延长3-5倍 Teradyne高端测试机收入CAGR达22% [6] - 硅片制造设备从2022年25亿美元增至2027年40亿美元 CAGR 9.8% 中国厂商新增产能占全球35% [6] 国产化进展 - 去胶设备国产化率突出 屹唐股份/盛美上海处于国内领先地位 [7] - 清洗设备国产化率约20% 盛美上海设备中标量国内第二 至纯科技/北方华创/芯源微推动替代 [7] - 氧化扩散/热处理设备国产化率约28% 北方华创/屹唐股份/盛美上海中标量靠前 [7] - 刻蚀设备国产化率约23% 中微公司/北方华创/屹唐股份国内排名前三 [7] - 薄膜沉积设备国产化率持续提升 拓荆科技/北方华创/盛美上海中标量领先 [7] - 离子注入设备国产化率约3.1% 烁科中科/凯世通半导体推动国产化 [7] - 光刻设备国产化率仅约1% 主要由上海微电子承担 [7]