资金募集 - 2023年向特定对象发行10305736股A股，每股29.11元，募资2.9999997496亿元，净额2.9605657874亿元[2] - 募集资金用于“集成电路刻蚀设备用硅材料扩产项目”和“补充流动资金”[4] 现金管理 - 拟用不超1.1亿元闲置募集资金现金管理，期限12个月，可循环使用[1][5] - 收益优先补足募投项目资金及补充流动资金，到期归还专户[7] - 选择安全、保本、流动性好产品，按规办理控风险[5][8] - 审计部门监督，审计委员会等可必要时专项审计[8] - 不影响日常周转等，能提升业绩[10]