募集资金 - 2021年4月向特定对象发行22,732,486股普通股，募资总额79,199.98万元，净额78,753.97万元[1][2] - 天风证券提取承销保荐费用（含税）396.00万元，含未及时置换发行费用50.01万元[2] - 截至2025年6月30日，募资本期使用5,661.68万元，期末余额10,627.33万元[5] - 累计变更用途的募资总额为24,314.00万元，比例为30.87%[22] 项目资金调整 - “集成电路制造用高端光刻胶研发、产业化项目”原投资42,553.97万元，调减至18,239.97万元[3] - 调减的24,314.00万元用于“ArF浸没式光刻胶研发项目”16,500万元和“偿还项目贷款”7,814.00万元[4] 项目进展 - 集成电路制造用高端光刻胶研发、产业化项目累计投入16,570.23万元，投资进度90.85%，本报告期效益 -2,342.47万元，累计效益 -24,201.61万元[22] - ArF浸没式光刻胶研发项目累计投入7,542.41万元，投资进度45.71%[22] - 偿还项目贷款累计投入7,814.00万元，投资进度100.00%[22] - 集成电路关键工艺材料项目累计投入21,200.00万元，投资进度100.00%，本报告期效益 -1,833.82万元，累计效益 -3,026.15万元[22] - 补充流动资金累计投入15,000.00万元，投资进度100.00%[22] 资金账户 - 2024年6月，宁波银行松江支行专户变更用于“ArF浸没式光刻胶研发项目”[8] - 2024年6月27日，上海银行松江支行和建行松江支行专户注销[8] - 截至2025年6月30日，募集资金专项账户余额17,772,371.03元[10] 资金使用与收益 - 截至2025年6月30日，未使用募集资金106,273,350.36元，理财125,000,000.00元[10][18] - 累计利息收入42,250,953.90元，其中6,232,910.09元用于募投项目[10][18]