业绩数据 - 2025年上半年营业收入20,852.77万元，同比增66.53%[1] - 2025年上半年净利润4,883.79万元，同比增925.55%[1] - 2025年6月6日派发现金红利12,701,649.00元（含税）[3] 研发情况 - 2025年上半年研发支出1,122.06万元，同比降8.91%[6] - 报告期申请专利5项，获授权2项，累计100项[6] 项目进展 - 募投项目“集成电路刻蚀设备用硅材料扩产项目”施工安装中[2] 公司治理 - 2025年上半年召开多次股东大会、董事会等会议[9] - 报告期修订完善11项治理制度[10] - 组织3次独立董事实地调研[10] 公司行动 - 2025年上半年推动“提质增效重回报”行动方案落地[1]