募集资金情况 - 公开发行可转换公司债券募集资金总额2.8亿元，净额2.6928423006亿元[1] - 截至2023年6月30日，募集资金余额为0元[2][4] 项目投入情况 - 截至2022年12月31日，累计投入募投项目金额2.2497397914亿元[2] - 2023年度使用募集资金648.48万元投入募投项目[2][8] - 半导体行业技改项目累计投入2.314588亿元，进度85.95%[8] 资金使用与归还 - 2020 - 2022年多次用闲置募集资金补流并归还[1][2][3] 账户处理 - 2023年2月10日转出专户资金3868.61万元并销户[1] - 截至2023年6月30日，募集资金存储账户均销户[4]